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<title>Halbleitertechnologie und Produktion</title>
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<branch>Kommunikationsinformatik</branch>
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<branch>Kommunikationsinformatik</branch>
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<cid>PIBWI32</cid>
<branch>Praktische Informatik</branch>
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<branch>Technische Informatik</branch>
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Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtaufwand des Moduls beträgt bei 5 Creditpoints 150 Stunden (30 Stunden/ECTS Punkt). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 105 Stunden zur Verfügung.
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<convenor>Prof. Dr. Albrecht Kunz</convenor>
<convenor-person-key>ak</convenor-person-key>
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<lecturer>Prof. Dr. Albrecht Kunz</lecturer>
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<objectives>Die Studenten erlangen ein breit angelegtes Wissen über die aktuellen verwendeten mikroelektronischen Produktionsverfahren. Dadurch sind sie in der Lage, die Grenzen und Möglichkeiten von integrierten Halbleiterbauelementen und den dazugehörigen Schaltkreisfamilien einordnen und beurteilen zu können.
 
Die Studenten verfügen über detailliertes Wissen über die gebräuchlichen Schaltkreisfamilien. Sie können die Unterschiede zwischen den unterschiedlichen Schaltkreisfamilien differenziert darstellen und unter Zuhilfenahme von numerisch erzeugten Simulationsergebnissen hinsichtlich möglicher Anwendungsmöglichkeiten zielgerichtet analysieren und bewerten. </objectives>
<content>1.Technologische Prozesse:
1.1.Trends in der Mikroelektronik,
1.2.Materialien,
1.3.Waferherstellung,
1.4.Oxidation,  Lithografie, Ätztechniken, Dotiertechniken,
1.5.Depositionsverfahren,
1.6.MOS- und Bipolar-Technologien zur Schaltungsintegration,
1.7.Integrationsbeispiele.
 
2.Halbleiter-Schaltkreisfamilien:
2.1.Dioden-Transistor-Logik
2.2.Transistor-Transistor-Logik,
2.3.Emittergekoppelte Logik,
2.4.Integrierte  Injektionslogik,
2.5.NMOS- Schaltungen.</content>
<literature>Baker, R. Jacob: CMOS Circuit Design, Layout, and Simulation, IEEE Press Series on Microelectronic Systems,
Uyemura, John P.: CMOS Logic Circuit Design, Kluwer Academic Publishers,
DeMassa, Thomas A.: Digital Integrated Circuits, John Wiley &amp; Sons,
Hilleringmann, U.: Silizium Halbleitertechnologie, Teubner-Verlag,
Wupper, H.: Elektronische Schaltungen, Band 1 und 2, Springer-Verlag,
Rein, H. - M.: Integrierte Bipolarschaltungen, Springer-Verlag,
Post, H. - U.: Entwurf und Technologie hochintegrierter Schaltungen, Teubner-Verlag,
Paul, Reinhold: Einführung in die Mikroelektronik, Hüthig-Verlag,
Hoppe, Bernhard: Mikroelektronik, Band 1 und 2, Vogel-Verlag.
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